bluesea_718 发表于 2009-2-25 13:25:36

磁控溅射镀铝膜发灰

我们用磁控溅射工艺给大型天文望远镜镀铝膜，但是发现镀出来的铝膜中间发灰，边缘是正常的，我们的溅射源用的是圆形溅射靶，不知道是否有大虾能指点一下，谢谢！

zzzz 发表于 2009-2-26 08:26:39

靶多大
中心区域是否消耗过多或氧化

noodlesy 发表于 2009-2-26 09:53:35

1# bluesea_718


只是铝吗？没有其他保护层？

bluesea_718 发表于 2009-2-26 10:49:30

铝靶有效溅射面积直径130mm，中心区没见消耗过多，现在铝靶表面有一个刻蚀圆环，只是溅射铝膜，没有保护层

noodlesy 发表于 2009-2-26 11:01:04

4# bluesea_718


和真空会不会有关系？

另外，靶材是新的吗？使用多长时间了

zzzz 发表于 2009-2-26 11:23:31

铝膜发灰区域同靶的刻蚀区域能对应起来吗?

bluesea_718 发表于 2009-2-26 13:28:09

我们的靶材有一段时间是暴露在大气中的。
大概可以对应起来，边缘的铝膜还是比较亮的。
不知道国内是否有做圆形磁控溅射阴极（磁控溅射源）比较好的厂家

zhouchen910705 发表于 2009-2-26 21:00:49

看是不是清洗问题，氧化造成啊

noodlesy 发表于 2009-2-27 03:09:54

7# bluesea_718


深圳欧来吧!

ahei777 发表于 2009-3-12 13:34:04

可能是厚度不均匀,如果氧化的话应该边缘也有相同的颜色.另外靶材没有露铜的话应该没事,因为磁控溅射基本上都有蚀刻环的,主要是因为下面的磁铁磁场分布导致的

zzzz 发表于 2009-3-12 16:19:05

换个新靶试试.....................................

stonetiny 发表于 2009-3-12 20:08:56

有磁控溅射镀金的吗？
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