jiayuch 发表于 2008-6-7 12:05:49

请教霍尔源

我们镀膜过程中 霍尔源的阴极电压瞬间跳到很小然后回复，引起这种现象的原因有什么呢？

qx__wei 发表于 2008-6-11 09:01:15

是否洁净问题，出现了不干净，在灯丝的连接部分

jiayuch 发表于 2008-6-11 09:06:18

多谢多谢是离子源电源有问题了

nation 发表于 2008-7-4 22:26:26

通常人们把它叫打火，
要对离子源的参数进行调整，
我是说如果你的离子源比较清洁的话。
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