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请教霍尔源

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发表于 2008-6-7 12:05:49 | 显示全部楼层 |阅读模式
我们镀膜过程中 霍尔源的阴极电压瞬间跳到很小然后回复,引起这种现象的原因有什么呢?
发表于 2008-6-11 09:01:15 | 显示全部楼层
是否洁净问题,出现了不干净,在灯丝的连接部分
 楼主| 发表于 2008-6-11 09:06:18 | 显示全部楼层
多谢多谢  是离子源电源有问题了
发表于 2008-7-4 22:26:26 | 显示全部楼层
通常人们把它叫打火,
要对离子源的参数进行调整,
我是说如果你的离子源比较清洁的话。
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