yongwu 发表于 2008-4-28 19:07:44

求助

最近在鍍膜過程中發現使用的晶控片有龜裂現象現，我們所使用的機台是台灣機台，

晶控是XTC2002六探頭，有時一次上六個晶控片，一鍋下來就發現有一~二個有龜


裂現象。機台加熱350度，晶控片是INFICON的。


請各位大俠幫忙找找發生的原因。

HGcoating 发表于 2008-4-29 09:20:26

如果你用了离子源，那就是参数不对。从先调整参数。

optofilm2002 发表于 2008-4-29 10:17:35

可能是离子源的中和效果不好,电荷放电所致.

optofilm2002 发表于 2008-4-29 10:19:23

建议你不开离子源,先试试看,是否还会有此现象?

yongwu 发表于 2008-4-29 13:27:12

我們有用離子源助鍍，離子源參數設定是160V 5A ,但是出現龜裂現象的晶控片是沒用過的。

sajian 发表于 2008-4-29 14:00:04

我是专业卖晶控的,联系我:13077864087,简先生

huhu 发表于 2008-5-2 11:08:05

有趣的例子。

表面划痕好多！看起来旧旧的。

建议查查其余几片同时装入的晶振片的使用记录及表面状况。如果是放电，可能会有明显的跳频或其它异常状况。

yongwu 发表于 2008-5-4 12:38:35

裝六片進去隻出現一到二片有上述現象，其他是好的

终南子 发表于 2008-5-5 16:04:52

你镀的是什么材料？为什么温度要烤那么高？也有可能是热应力或热膨胀造成的

zzzz 发表于 2008-5-15 13:30:43

打火了

APS1104 发表于 2008-6-1 18:42:34

温度烘烤太高了。也有可能是膜的应力或热膨胀造成的。

jiayuch 发表于 2008-6-2 09:34:27

是不是晶控片本身镀金镀的不好？如果是离子源放电的话，那没用的晶控片上应该没有啊
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