unknown 发表于 2006-12-4 22:53:00

请教：准分子激光器光束如何聚焦？

<div><font face="Verdana"><font size="2">大家好！我希望能把准分子激光聚焦到一点，使该点的功率密度尽可能高。</font></font></div><div><font face="Verdana"><font size="2"> 激光器的参数：KrF准分子，248nm，</font></font></div><div><font face="Verdana"><font size="2"> 光斑尺寸（出口处）：21.5mm×9.5mm的矩形，能量分布不均匀；</font></font></div><div><font face="Verdana"><font size="2"> 发散角：小于0.2mrad，</font></font></div><div><font face="Verdana" size="2">脉冲能量：100mJ</font></div><div><font face="Verdana">脉冲宽度：20ns<br/> 希望聚焦的光斑尺寸为10um～1um。</font></div><div><font face="Verdana">请教用什么透镜实现呢？</font></div>

likehoo11 发表于 2006-12-4 23:35:00

　　便宜实用的适应透镜就可以了，我们就用这个渡膜，对２４８的激光它是透光材料

unknown 发表于 2006-12-5 00:02:00

<p>哦，石英透镜是吧。因为光斑是矩形的，边长的比例大于2：1，是否要用两个正交的柱透镜或者非球面镜？</p>

likehoo11 发表于 2006-12-5 00:15:00

<p>我们的是27*12cm的矩形窗口,主要用于PLD镀膜,条件有限,就用的是石英凸透镜,没你那么好条件,对光斑的形状要求不太高,聚焦没什么问题,就是不知道楼主要用来做什么了.</p><p></p>

unknown 发表于 2006-12-5 01:32:00

哦，那PLD也需要在聚焦点有很高的功率密度吧？我的也是希望能够产生等离子体，只不过是电离气体而已，所以要求聚焦点的体积小，这样功率密度就上去了。
页: [1]
查看完整版本: 请教：准分子激光器光束如何聚焦？