请教：准分子激光器光束如何聚焦？

unknown

大家好！我希望能把准分子激光聚焦到一点，使该点的功率密度尽可能高。

激光器的参数：KrF准分子，248nm，

光斑尺寸（出口处）：21.5mm×9.5mm的矩形，能量分布不均匀；

发散角：小于0.2mrad，

脉冲能量：100mJ

脉冲宽度：20ns
希望聚焦的光斑尺寸为10um～1um。

请教用什么透镜实现呢？

likehoo11

　　便宜实用的适应透镜就可以了，我们就用这个渡膜，对２４８的激光它是透光材料

unknown

哦，石英透镜是吧。因为光斑是矩形的，边长的比例大于2：1，是否要用两个正交的柱透镜或者非球面镜？

likehoo11

我们的是27*12cm的矩形窗口,主要用于PLD镀膜,条件有限,就用的是石英凸透镜,没你那么好条件,对光斑的形状要求不太高,聚焦没什么问题,就是不知道楼主要用来做什么了.

unknown

哦，那PLD也需要在聚焦点有很高的功率密度吧？我的也是希望能够产生等离子体，只不过是电离气体而已，所以要求聚焦点的体积小，这样功率密度就上去了。