飛兲寶赑 发表于 2013-5-5 09:00:35

离子源放电造成的，重新保养IB

拋開①苆 发表于 2013-7-9 20:23:09

不影响生产效果情况下，适当的减少ION的强度，应该是打火造成的，是否该清理了
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查看完整版本: 求助：离子辅助蒸发成膜有点，急呀!