光电工程师社区»光电社区 › 光电理论及应用技术 › 光学镀膜技术及膜系设计 › 求助：离子辅助蒸发成膜有点，急呀!
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楼主: fulong927

求助：离子辅助蒸发成膜有点，急呀!

 火... [复制链接]
发表于 2013-5-5 09:00:35 | 显示全部楼层
离子源放电造成的，重新保养IB
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发表于 2013-7-9 20:23:09 | 显示全部楼层
不影响生产效果情况下，适当的减少ION的强度，应该是打火造成的，是否该清理了
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