左等不来,右等也不来,没事,我等你。
假如透射波前那么不敏感,你设计的系统RMS就应当很高你,PV值也会很高。我发现你的系统有致命错误。
说错误有些不当,应当是不足。不足之处就是BK7热膨胀系数过高,导致上面20到22度温度变化,对系统影响很大。石英玻璃热膨胀系数5.4×10E-7,BK7是71×10E-7。zygo干涉仪GPI-XP的“操作环境:温度:15° to 30℃”。
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BK7 是目前能买到的大口径(6英寸,或更大),均匀性还很好的光学材料,所以做大个的标准镜,可以选择用它。
本帖最后由 slyz 于 2018-12-21 19:50 编辑
但它膨胀引起的波前变化,是不大的。用在4英寸镜头里,可以忽略其影响。 不过15-30 范围是好宽啊,我们一般只考虑了20-23的范围.
美国和日本一些公司,做的镜头,其波前也不是很好,有的达到了2-3波长,但对于普通的检测精度,基本都够用。
本帖最后由 slyz 于 2018-12-21 20:23 编辑
总的来说,
波前PV优于一个波长 ,畸变优于0.2%,再把慧差,像散,球差控制一下。
镜头自身的系统误差,小于0.1nm rms,普通检测就够用了。
由于回程误差太小了,所以目前我感觉是,理论上好像(也许,可能)无法等到定量解,只能通过设计,才能计算出它的回程误差。
比如我设计了2个相同参数的镜头,口径,F数,参考面。
但畸变不同
将它们的波前,调到接近。此时,测量同一个元件,系统误差是不一样的!
最近就研究到这了
特定的测量条件下,慧差、像散也可以放宽。
谢谢你的解答,有些问题我需要慢慢理解。我曾记得系统有一块精度λ/50,凹面微晶标准镜,是用于测量出射光的精度,可我没有说明书,不知道有没有这块玻璃。
本帖最后由 slyz 于 2019-2-1 20:49 编辑
这个 是标准面;包括凹面,凸面,平面。其面形精度为PV 1/20到1/100。跟其半径,口径等指标相关。
我们曾做过6英寸,PV 1/100的标准平面。
pv=1/100,这个难度很大,能做很不容易。是3面法检验吗?