4英寸菲索干涉仪标准镜头关键技术研究

ds1234567 · 发表于 2018-11-29 22:01:21

左等不来，右等也不来，没事，我等你。

ds1234567 · 发表于 2018-12-1 08:29:32

假如透射波前那么不敏感，你设计的系统RMS就应当很高你，PV值也会很高。我发现你的系统有致命错误。

ds1234567 · 发表于 2018-12-16 11:00:30

说错误有些不当，应当是不足。不足之处就是BK7热膨胀系数过高，导致上面20到22度温度变化，对系统影响很大。石英玻璃热膨胀系数5.4×10E-7，BK7是71×10E-7。zygo干涉仪GPI-XP的“操作环境：温度：15° to 30℃”。

slyz · 发表于 2018-12-21 19:38:35

slyz · 发表于 2018-12-21 19:40:16

BK7 是目前能买到的大口径（6英寸，或更大），均匀性还很好的光学材料，所以做大个的标准镜，可以选择用它。

slyz · 发表于 2018-12-21 19:43:41

本帖最后由 slyz 于 2018-12-21 19:50 编辑

但它膨胀引起的波前变化，是不大的。用在4英寸镜头里，可以忽略其影响。不过15-30 范围是好宽啊，我们一般只考虑了20-23的范围.
美国和日本一些公司，做的镜头，其波前也不是很好，有的达到了2-3波长，但对于普通的检测精度，基本都够用。

slyz · 发表于 2018-12-21 19:48:24

本帖最后由 slyz 于 2018-12-21 20:23 编辑

总的来说，
波前PV优于一个波长，畸变优于0.2%，再把慧差，像散，球差控制一下。
镜头自身的系统误差，小于0.1nm rms，普通检测就够用了。
由于回程误差太小了，所以目前我感觉是，理论上好像（也许，可能）无法等到定量解，只能通过设计，才能计算出它的回程误差。
比如我设计了2个相同参数的镜头，口径，F数，参考面。
但畸变不同
将它们的波前，调到接近。此时，测量同一个元件，系统误差是不一样的！
最近就研究到这了

slyz · 发表于 2018-12-21 20:01:58

特定的测量条件下，慧差、像散也可以放宽。

ds1234567 · 发表于 2018-12-26 21:28:35

谢谢你的解答，有些问题我需要慢慢理解。我曾记得系统有一块精度λ/50，凹面微晶标准镜，是用于测量出射光的精度，可我没有说明书，不知道有没有这块玻璃。

slyz · 发表于 2018-12-28 20:34:52

本帖最后由 slyz 于 2019-2-1 20:49 编辑

这个是标准面；包括凹面，凸面，平面。其面形精度为PV 1/20到1/100。跟其半径，口径等指标相关。
我们曾做过6英寸，PV 1/100的标准平面。

ds1234567 · 发表于 2022-3-20 19:19:32

pv=1/100，这个难度很大，能做很不容易。是3面法检验吗？

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