gxd_002 发表于 2004-12-29 05:35:00

电子枪的蒸发功率

请问，当APS1104镀膜机的大坩埚在蒸发电压开启的的任一时刻，坩埚的电子枪功率几乎达到了该坩埚膜料的蒸发功率，即只要在镀膜，明明是用其它坩埚的膜料，该大坩埚电子枪也在进行大功率的蒸发，这是什么原因呢？虽然有挡板挡着，说明一点，电子枪的参数设置正常，请各位能及时给予答复，谢谢了

wzokok 发表于 2005-1-5 22:55:00

<P>应该还是参数设置的问题,你查一下在蒸镀别的坩埚时候,这个坩埚的保持电压设置是多少.</P>

zz 发表于 2005-1-28 19:00:00

IDLE POWER的设置
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