2004-12-29 05:35:00 | 显示全部楼层 | 阅读模式
请问,当APS1104镀膜机的大坩埚在蒸发电压开启的的任一时刻,坩埚的电子枪功率几乎达到了该坩埚膜料的蒸发功率,即只要在镀膜,明明是用其它坩埚的膜料,该大坩埚电子枪也在进行大功率的蒸发,这是什么原因呢?虽然有挡板挡着,说明一点,电子枪的参数设置正常,请各位能及时给予答复,谢谢了
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2005-1-5 22:55:00

应该还是参数设置的问题,你查一下在蒸镀别的坩埚时候,这个坩埚的保持电压设置是多少.

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2005-1-28 19:00:00
IDLE POWER的设置
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