ftz1981 发表于 2013-12-27 22:06:37

关于真空镀铝二氧化硅保护膜的牢固度的问题

北仪的镀膜机DM--450A型镀膜机 改造加了一个电子枪 光控    镀铝是真空度2*10的负3Pa   度二氧化硅是也是这个真空度但是很难达到加强铝的要求用力擦拭容易出现掉膜的现象求各位高手不吝赐教 我究竟哪里出问题了   没有离子源




-














-

诸葛流星 发表于 2013-12-31 14:44:43

Al是用什么镀的啊

ftz1981 发表于 2014-1-6 05:58:02

诸葛流星 发表于 2013-12-31 14:44 static/image/common/back.gif
Al是用什么镀的啊

你好铝是用铰钨丝蒸发的   求高见

诸葛流星 发表于 2014-1-7 08:03:47

ftz1981 发表于 2014-1-6 05:58 static/image/common/back.gif
你好铝是用铰钨丝蒸发的   求高见

用坩埚能镀吗，阻蒸只能镀一次啊

xiaohuilee 发表于 2014-1-8 07:22:45

是否加温？ 是否打底，AL的结合力不好，用sio打底试试
当然也可以用坩埚 纯石墨坩埚 氮化硼坩埚 不过坩埚容易裂 记得多买几个
你所说的掉膜和sio2没有关系 是你的AL的结合力的问题 AL和sio2的结合力挺好的

wdydede 发表于 2014-1-11 18:54:49

如果你用于紫外，则加镀SIO是不行的，因为有吸收！国内出版的一本麦克劳德的书中讲到好象要用MgF2做保护层，这个好象不好！北仪的镀膜机DM--450A型镀膜机 这种机器是不是老设备，返油太大，这个要处理好，加个冷 水机可能会好点，金属膜对油特别敏感，希望对你有用

ftz1981 发表于 2014-1-12 21:41:23

诸葛流星 发表于 2014-1-7 08:03 static/image/common/back.gif
用坩埚能镀吗，阻蒸只能镀一次啊

镀铝时用铰钨丝阻蒸    镀二氧化硅用电子枪 谢谢

ftz1981 发表于 2014-1-12 21:44:04

wdydede 发表于 2014-1-11 18:54 static/image/common/back.gif
如果你用于紫外，则加镀SIO是不行的，因为有吸收！国内出版的一本麦克劳德的书中讲到好象要用MgF2做保护层， ...

谢谢您的赐教 受教非浅    我是用在红外反射    镀二氧化硅保护   求赐教   也准备有用于紫外的反射    望详细赐教

ftz1981 发表于 2014-1-12 21:45:47

xiaohuilee 发表于 2014-1-8 07:22 static/image/common/back.gif
是否加温？ 是否打底，AL的结合力不好，用sio打底试试
当然也可以用坩埚 纯石墨坩埚 氮化硼坩埚 不过坩埚容 ...

没有加温没有打底就只在磁钢上镀铝 然后镀二氧化硅    谢谢   求赐教

xiaohuilee 发表于 2014-1-14 18:38:36

ftz1981 发表于 2014-1-12 21:45 static/image/common/back.gif
没有加温没有打底就只在磁钢上镀铝 然后镀二氧化硅    谢谢   求赐教

既然这样那就用sio打底 如果还是不行就用cr打底
还要镀保护膜 一般20nm左右就够了
别老是等待别人的回复了 多做做实验 还有就是你的基底是否干净 等各个方面的原因
AL和玻璃的结合力还可以 我以前做过再金属上镀AL 就sio打底就没有问题

wdydede 发表于 2014-1-14 22:32:34

ftz1981 发表于 2014-1-12 21:45 static/image/common/back.gif
没有加温没有打底就只在磁钢上镀铝 然后镀二氧化硅    谢谢   求赐教

你镀在磁钢上，是什么材料 ？我们是镀在玻璃上的. 铝膜与接合力还真不知道

wdydede 发表于 2014-1-14 22:34:57

ftz1981 发表于 2014-1-12 21:44 static/image/common/back.gif
谢谢您的赐教 受教非浅    我是用在红外反射    镀二氧化硅保护   求赐教   也准备有用于紫外的反射    ...

红外反射可以镀金，但金属膜的牢固度？？
页: [1] 2
查看完整版本: 关于真空镀铝二氧化硅保护膜的牢固度的问题