关于真空镀铝二氧化硅保护膜的牢固度的问题

ftz1981 · 发表于 2013-12-27 22:06:37

北仪的镀膜机DM--450A型镀膜机改造加了一个电子枪光控镀铝是真空度2*10的负3Pa 度二氧化硅是也是这个真空度但是很难达到加强铝的要求用力擦拭容易出现掉膜的现象求各位高手不吝赐教我究竟哪里出问题了没有离子源

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诸葛流星 · 发表于 2013-12-31 14:44:43

Al是用什么镀的啊

ftz1981 · 发表于 2014-1-6 05:58:02

诸葛流星发表于 2013-12-31 14:44
Al是用什么镀的啊

你好铝是用铰钨丝蒸发的求高见

诸葛流星 · 发表于 2014-1-7 08:03:47

ftz1981 发表于 2014-1-6 05:58
你好铝是用铰钨丝蒸发的求高见

用坩埚能镀吗，阻蒸只能镀一次啊

xiaohuilee · 发表于 2014-1-8 07:22:45

是否加温？是否打底，AL的结合力不好，用sio打底试试
当然也可以用坩埚纯石墨坩埚氮化硼坩埚不过坩埚容易裂记得多买几个
你所说的掉膜和sio2没有关系是你的AL的结合力的问题 AL和sio2的结合力挺好的

wdydede · 发表于 2014-1-11 18:54:49

如果你用于紫外，则加镀SIO是不行的，因为有吸收！国内出版的一本麦克劳德的书中讲到好象要用MgF2做保护层，这个好象不好！北仪的镀膜机DM--450A型镀膜机这种机器是不是老设备，返油太大，这个要处理好，加个冷水机可能会好点，金属膜对油特别敏感，希望对你有用

ftz1981 · 发表于 2014-1-12 21:41:23

诸葛流星发表于 2014-1-7 08:03
用坩埚能镀吗，阻蒸只能镀一次啊

镀铝时用铰钨丝阻蒸镀二氧化硅用电子枪谢谢

ftz1981 · 发表于 2014-1-12 21:44:04

wdydede 发表于 2014-1-11 18:54
如果你用于紫外，则加镀SIO是不行的，因为有吸收！国内出版的一本麦克劳德的书中讲到好象要用MgF2做保护层， ...

谢谢您的赐教受教非浅我是用在红外反射镀二氧化硅保护求赐教也准备有用于紫外的反射望详细赐教

ftz1981 · 发表于 2014-1-12 21:45:47

xiaohuilee 发表于 2014-1-8 07:22
是否加温？是否打底，AL的结合力不好，用sio打底试试
当然也可以用坩埚纯石墨坩埚氮化硼坩埚不过坩埚容 ...

没有加温没有打底就只在磁钢上镀铝然后镀二氧化硅谢谢求赐教

xiaohuilee · 发表于 2014-1-14 18:38:36

ftz1981 发表于 2014-1-12 21:45
没有加温没有打底就只在磁钢上镀铝然后镀二氧化硅谢谢求赐教

既然这样那就用sio打底如果还是不行就用cr打底
还要镀保护膜一般20nm左右就够了
别老是等待别人的回复了多做做实验还有就是你的基底是否干净等各个方面的原因
AL和玻璃的结合力还可以我以前做过再金属上镀AL 就sio打底就没有问题

wdydede · 发表于 2014-1-14 22:32:34

ftz1981 发表于 2014-1-12 21:45
没有加温没有打底就只在磁钢上镀铝然后镀二氧化硅谢谢求赐教

你镀在磁钢上，是什么材料？我们是镀在玻璃上的. 铝膜与接合力还真不知道

wdydede · 发表于 2014-1-14 22:34:57

ftz1981 发表于 2014-1-12 21:44
谢谢您的赐教受教非浅我是用在红外反射镀二氧化硅保护求赐教也准备有用于紫外的反射 ...

红外反射可以镀金，但金属膜的牢固度？？

[讨论] 关于真空镀铝二氧化硅保护膜的牢固度的问题