交替蒸镀材料是否回引起膜内应力曾大呢
如题 我现在做红外宽带增透膜 ，基底是 znse膜料是znseyf3最近试镀几次都出现了脱膜的现象 层数一共为20层 ，把温度降低 到190 度 离子源降低到5ma还是出现掉膜最近听说可能是如我题中说的情况 我想知道 是不是有这个原因在里面 还有温度 以及离子源对膜的应力有多大的影响呢谢谢 初始温度为220度 望各位朋友帮我解答下 谢了 离子源阳极电压减小点 zhm1988 发表于 2012-6-15 15:51 static/image/common/back.gif离子源阳极电压减小点
谢谢朋友的回答 我想问的是这个阳极电压 对膜的应力有很大的影响吗 ？
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