交替蒸镀材料是否回引起膜内应力曾大呢

xiaojiang007 · 发表于 2012-6-15 14:07:50

如题我现在做红外宽带增透膜，基底是 znse 膜料是znse yf3 最近试镀几次都出现了脱膜的现象层数一共为20层，把温度降低到190 度离子源降低到5ma 还是出现掉膜最近听说可能是如我题中说的情况我想知道是不是有这个原因在里面还有温度以及离子源对膜的应力有多大的影响呢谢谢初始温度为220度望各位朋友帮我解答下谢了

zhm1988 · 发表于 2012-6-15 15:51:04

离子源阳极电压减小点

xiaojiang007 · 发表于 2012-6-20 16:40:25

zhm1988 发表于 2012-6-15 15:51
离子源阳极电压减小点

谢谢朋友的回答我想问的是这个阳极电压对膜的应力有很大的影响吗？

[讨论] 交替蒸镀材料是否回引起膜内应力曾大呢

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