学絵パ紾悕 发表于 2012-6-10 22:27:08

韩一真空镀膜机高真空抽不到

哪位高手帮帮忙
我现有一台韩一真空镀膜机抽真空时高真空经常抽不到，一直显示OFF，但关机后再开有时能恢复正常，

第一行：为低真空；
第二行为管道真空;
第三行为高真空，经常管道真空到达到3.8E－4时就不能动啦，第三行高真空位一直显示OFF，扩散泵油也换过拉，不存在漏气的现象，请高的指点一下，谢啦

神州八号 发表于 2012-6-11 15:49:48

慢慢玩吧！

学絵パ紾悕 发表于 2012-6-11 22:06:20

楼上的如果知道就告诉一下呗

xiaohuilee 发表于 2012-6-12 10:48:18

我前段时间也遇到这个问题了 不过我们用的机器不一样 我这边的问题是高真空计坏掉了导致显示关闭 还有你在抽真空的时候把显示值调到高真空那个（调CH1,CH2,这个就是显示高低真空对应的），看看是不是不能自动开启

学絵パ紾悕 发表于 2012-6-12 21:00:22

楼上的仁兄，你好，我公司的镀膜机是自动的，当CH1和CH2的达到设备值后CH3自动会变化，现在的问题偶尔会这样，不知道是哪里的问题

shuangzixing 发表于 2012-6-13 08:02:39

检查一下高真空管。或换一支

学絵パ紾悕 发表于 2012-6-13 19:59:03

好像只有高真空探头，没有你说的高真空管，探头也换过，就是不行

xj2010cg 发表于 2012-6-13 21:17:07

{:6_145:}

学絵パ紾悕 发表于 2012-6-13 21:43:38

怎么就没有高手来帮忙呢？

LILISRLHJ 发表于 2012-6-14 20:36:41

第一看看你的低真空规管是否正常，
第二：看看你的低真空规管的设定值
第三：看看系统设置的高真空规管的保护设定值
第四：如果还是没搞定，把真空计和规管全废那吧！！！{:6_154:}

学絵パ紾悕 发表于 2012-6-14 23:29:54

LILISRLHJ 发表于 2012-6-14 20:36 static/image/common/back.gif
第一看看你的低真空规管是否正常，
第二：看看你的低真空规管的设定值
第三：看看系统设置的高真空规管的 ...

你好：
   请问一下规管是什么呀，我没太明白你的意思

tfc 发表于 2012-6-15 09:29:54

学絵パ紾悕 发表于 2012-6-14 23:29 static/image/common/back.gif
你好：
   请问一下规管是什么呀，我没太明白你的意思

这东西大家叫法不同而已，都是真空探头，你说的是有时不行，我猜测可能是电气连接不好，或有时信号发不出去，或有时PLC通信失败，这个在品质偏低的机器上经常会碰到。你多检查电路部分吧，实在不行，就去联系韩一的售后服务啊，
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