你的腔体真空度稳定吗 真空不稳定也会影响成膜速度
game ratio 设置,预融电流过低在镀膜前没达到合适的参数
这种情况PID问题比较大一点。当然你刚才说的几个方面也是造成这种现象的原因。可能你还是要在这几个方面仔细再分析。至于膜材只要是正常的市面上的都没有太大的问题。
1、膜料添加时要保证表面平整,别坑坑洼洼
2、如果速率规则的起伏,且起伏周期稳定,那就是PID的问题,需要调整
3、开挡板瞬间速率窜高,说明的你预蒸发功率太大,需要降低
4、确保枪灯丝稳定,不要出现打火
rollo_tomasi 发表于 2014-1-13 16:45 static/image/common/back.gif
1、膜料添加时要保证表面平整,别坑坑洼洼
2、如果速率规则的起伏,且起伏周期稳定,那就是PID的问题,需要 ...
NOD 应该是预置热问题
束斑调大些,速率调整的速度要慢些,调整值大些,调整幅度越小速率起伏的越大。
看看SIO的电子枪调功器有没有问题?
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1.料的问题
2.枪的问题
3.预熔的问题
PID问题的可能性大
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现在我这边也是这个问题。PID调节了 预熔功率也调节了 反应不是很理想 SIO2波动大 有时候曲线波长跑动很多。很郁闷 你那边这个问题解决没有? PID调节后是有好转 扫描方面我也考虑过 但是效果不是很理想