充氧气是会出现波动比较大,氩气应该不会
多为接触不良
可以咨询我,你能解决的自己解决,不能解决的,就找我
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气体分配板的问题
學習..{:6_143:}
我认为充氧阀漏了,我也碰到过,或是你的氧气瓶在漏,这样进去压力或高或低,造成中和不稳定,造成离子源工作不稳定。
MARK II最早就是我做的啊。那时还是卡夫曼博士开的公司,后来卖给了VEECO。
你用的MARK II是空心阴极的源还是灯丝的(看描述像空心阴极的)
看起来像打火,估计是充氧导管没装好。
(充氧口到护板必须装导管,防止氧气进入护板和真空室壁之间)
空心阴极中和器只使用氩气,要注意纯度,最少5个9,
气瓶装好后开阀门之前要先将管路全部抽真空
ouyuu 发表于 2012-12-5 23:06 static/image/common/back.gif
MARK II最早就是我做的啊。那时还是卡夫曼博士开的公司,后来卖给了VEECO。
你用的MARK II是空心阴极的源 ...
MARK II空心阴极我们公司 也有一台现在就不用了 上次就是氩气不纯导致阴极烧掉,一个空心阴极要好几千块钱。现在都不用了,,这种空心阴极能不能改成灯丝的。、
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