aimy127 发表于 2004-6-8 00:53:00

关于粗糙度的问题

<P>不好意思，问一下各位</P>
<P>请问粗糙度为 0.3nmRA是指什么样的光学表面加工标准</P>

wazxq 发表于 2004-6-13 04:57:00

<P>那请教一下，国内有高精度抛光吗，我记的是 0.5Ra</P>

guangxuehao 发表于 2004-6-9 01:35:00

<P char; LINE-HEIGHT: 12pt">表面粗糙度<P> </P></P><P char; TEXT-INDENT: 23pt; LINE-HEIGHT: 12pt">表面粗糙度是指加工表面上的微观几何形状误差,对于我们光学元件来说,就是经过抛光后,光学表面微观的几何形状,<P> 这个指标,我以前主要是用接触式粗糙度仪来测量的.</P></P><P char; TEXT-INDENT: 23pt; LINE-HEIGHT: 12pt"><P></P><P>表面粗糙度可用Ra（轮廓的平均算术偏差）和Rz（不平度平均高度）两者之一来评定,但前者好象更通用一点,另外从概率上来讲,也更为精确与客观一点.</P></P><P char; TEXT-INDENT: 23pt; LINE-HEIGHT: 12pt"><P>不妥不当之外,请相关人士指点!</P></P>

jackonlee 发表于 2004-6-9 17:51:00

一般常用RMS(root means square) 均方根值来表示。

lczhy00001 发表于 2004-6-13 18:05:00

<P>LN晶体还可以!</P>

qx__wei 发表于 2004-6-14 02:47:00

<TABLE border=0 class=tablebody2 style="TABLE-LAYOUT: fixed; WORD-BREAK: break-all" width="90%"><TR><TD 9pt; LINE-HEIGHT: 12pt" width="100%"><img src="http://bbs.oecr.com/Skins/Default/topicface/face1.gif"> <B></B>
<P char; LINE-HEIGHT: 12pt?>表面粗糙度,在高精度光学元件和电子元件（硅片）主要用Rq值来表示。</P></TD></TR></TABLE>

qx__wei 发表于 2004-6-14 02:49:00

有知道国内有多少能达到这个表面粗糙度水平的？

aimy127 发表于 2004-6-15 04:44:00

<P></P>
<P>这个指标,我以前主要是用接触式粗糙度仪来测量的,请问2楼的先生，你一般测量的范围在多少呢，是微米级还是纳米级？</P>
<P>另请问底楼，是否0.3nm很不容易达到？</P>

ruijieli 发表于 2004-6-16 17:22:00

用WYKO轮廓仪（非接触式）可以测到0.3nm

jackonlee 发表于 2004-6-17 18:36:00

AFM可以测量，极度可达到0.08A.

zeoch 发表于 2004-7-3 00:47:00

<P>一般常用RMS(root means square) 均方根值来表示。

rms 与Rq是什么关系呢？</P><P>好像接触式的form talysurf轮廓仪可以达到0.8nm.</P>

jackonlee 发表于 2004-7-3 01:14:00

rms和 Rq好像是一个概念（3D）
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