氧化物薄膜如何测应力厚度,光学镀膜技术及膜系设计

sanshu 发表于 2003-4-5 20:03:00

如何测量薄膜的厚度以及内应力大约在微米量级上谢谢

ic5 发表于 2003-4-8 01:49:00

到上海光机所薄膜中心去问问，他们那里的研发力量还是强大的！

coating 发表于 2003-4-13 17:06:00

应力可以用干涉仪测量，薄膜厚度可以到上海光机所薄膜中心用nkd薄膜分析仪进行测量。

lavajydm 发表于 2003-4-29 03:21:00

你的薄膜是什么类型的啊？？
是有机物还是金属膜？？

zzf 发表于 2003-5-1 00:42:00

可以用dektak 的台阶仪测试

lavajydm 发表于 2003-5-1 07:36:00

光谱分析仪器

a99533126 发表于 2011-6-19 08:20:47

学习了

greenhaw 发表于 2011-6-29 20:01:04

都可以用a-step测试，厚度直接测试，应力通过测试Bowing值计算。

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