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氧化物薄膜如何测应力厚度

火... [复制链接]

发表于 2003-4-5 20:03:00 | 显示全部楼层 |阅读模式

如何测量薄膜的厚度以及内应力大约在微米量级上谢谢

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发表于 2003-4-8 01:49:00 | 显示全部楼层

氧化物薄膜如何测应力厚度

到上海光机所薄膜中心去问问，他们那里的研发力量还是强大的！

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发表于 2003-4-13 17:06:00 | 显示全部楼层

氧化物薄膜如何测应力厚度

应力可以用干涉仪测量，薄膜厚度可以到上海光机所薄膜中心用nkd薄膜分析仪进行测量。

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发表于 2003-4-29 03:21:00 | 显示全部楼层

氧化物薄膜如何测应力厚度

你的薄膜是什么类型的啊？？
是有机物还是金属膜？？

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发表于 2003-5-1 00:42:00 | 显示全部楼层

氧化物薄膜如何测应力厚度

可以用dektak 的台阶仪测试

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发表于 2003-5-1 07:36:00 | 显示全部楼层

氧化物薄膜如何测应力厚度

光谱分析仪器

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发表于 2011-6-19 08:20:47 | 显示全部楼层

学习了

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发表于 2011-6-29 20:01:04 | 显示全部楼层

都可以用a-step测试，厚度直接测试，应力通过测试Bowing值计算。

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