mykosovo 发表于 2003-10-8 22:45:00

初级菜鸟请教大侠们一个问题

请问大侠们：做PECVD镀膜时的真空度要求是多少？ 5E-1Pa够么？

mykosovo 发表于 2003-10-9 06:07:00

初级菜鸟请教大侠们一个问题

怎么没人回答我，好可怜，55555555555555....

Fengs2002 发表于 2003-10-9 23:31:00

初级菜鸟请教大侠们一个问题

PECVD 镀膜是什么东东？

mykosovo 发表于 2003-10-10 02:19:00

初级菜鸟请教大侠们一个问题

下面引用由Fengs2002在 2003/10/09 03:31pm 发表的内容：
PECVD 镀膜是什么东东？


不好意思，让您见笑了。
Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
(等离子体增强化学气相沉积)

Fengs2002 发表于 2003-10-10 17:55:00

初级菜鸟请教大侠们一个问题

[这个贴子最后由Fengs2002在 2003/10/10 10:37am 第 1 次编辑]

哦，多谢指教！

可能大家不回答是因为一般都是搞电子枪沉积或电极沉积的吧！

mykosovo 发表于 2003-10-10 20:34:00

初级菜鸟请教大侠们一个问题

这不矛盾吧？ 按我的理解，电子枪（也叫电子束吧）只是一种辅助手段，比如蒸发里有普通的热蒸发，还有常用的电子束蒸发。类似的还有离子束和分子束，如分子束外延（MBE）等。
只是蒸发、溅射之类属于物理气相淀积（PVD），而PECVD属于化学气相淀积（CVD）而已。
不知道是不是这样？ 请指教！

gu97c 发表于 2003-10-12 04:01:00

初级菜鸟请教大侠们一个问题

你的真空系统是什么样的||?

mykosovo 发表于 2003-10-12 04:10:00

初级菜鸟请教大侠们一个问题

哦，就一个机械泵加一个罗茨泵

lavajydm 发表于 2003-11-9 06:48:00

初级菜鸟请教大侠们一个问题

你和北京的华瑞真空联系 看看有什么可以帮你的！我们单位用的就是他们的产品！还行，毕竟是国产的嘛！支持国货了！（boss不肯花更多的cash啊！）

lavajydm 发表于 2003-11-9 06:50:00

初级菜鸟请教大侠们一个问题

好久没来了！我先顶一下！兄弟要多多的看书啊！薄膜科学与技术手册 很好的！你去借！很专业的书籍！

gu97c 发表于 2003-11-9 20:56:00

初级菜鸟请教大侠们一个问题

一个机械泵加一个罗茨泵组合的极限真空恐怕达不到5E-1Pa啊。

hgw2001 发表于 2003-11-11 18:56:00

初级菜鸟请教大侠们一个问题

问题是你想高的话也高不了呀。你的真空设备就只有那个。没有法抽得高。理论上来说真空度是越高越好。
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