xiaojiang007 发表于 2011-3-9 21:24:28

抽速慢什么原因

最近发现低真空指示灯不亮   在则到精抽的时候抽速慢怎么回事    那个灯不亮有什么影响

苏州膜头 发表于 2011-3-10 07:53:19

可能是哪个灯本身坏了，换一个。
如果真的不亮了，你是开不了高阀的，不能精抽的。

xiaojiang007 发表于 2011-3-10 15:43:25

精抽的时候抽速慢    是不是要换油了一年不到

wangxudong1227 发表于 2011-3-11 13:08:46

1、你可以检查下有么有漏气，微漏的那种。连接是否OK,腔门边缘密封条是否干净。密封条是最容易出漏气问题的地方，前提是其他都没有动过。
2、检查 POLYCOLD是否正常。
其他的还没遇到过。

swanson 发表于 2011-3-11 14:36:56

会不会是基底放气太大。。。烤一下基片呢

JZNT 发表于 2011-3-11 17:01:25

有微漏的可能性比较大，包括漏气还有水

xiaojiang007 发表于 2011-3-11 21:24:42

其他的都没动过机器在抽高真空的我听到好像有嘶嘶的声音   是不是漏气啊 ！望解答啊

wlinliu 发表于 2011-3-12 09:33:06

高真空的时候真空度是否有反弹变化,如果反弹很大,就有漏了,用残余气体分析仪分析一下就知道了

JINFENG215107 发表于 2011-3-12 22:34:13

会不会是机械泵或者真空泵的问题。{:6_147:}

缘睐汝痴 发表于 2011-3-13 23:34:21

这些都有可能存在问题，学习了

xcy1075 发表于 2011-3-16 10:28:30

{:6_167:}

snscm 发表于 2011-3-16 13:45:34

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应该是低真空指示灯泡坏了，换一个。
那个嘶嘶的声音是哪个部位发出来的？顺便给设备检下漏
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