抽速慢什么原因

xiaojiang007 · 发表于 2011-3-9 21:24:28

最近发现低真空指示灯不亮在则到精抽的时候抽速慢怎么回事那个灯不亮有什么影响

苏州膜头 · 发表于 2011-3-10 07:53:19

可能是哪个灯本身坏了，换一个。
如果真的不亮了，你是开不了高阀的，不能精抽的。

xiaojiang007 · 发表于 2011-3-10 15:43:25

精抽的时候抽速慢是不是要换油了一年不到

wangxudong1227 · 发表于 2011-3-11 13:08:46

1、你可以检查下有么有漏气，微漏的那种。连接是否OK,腔门边缘密封条是否干净。密封条是最容易出漏气问题的地方，前提是其他都没有动过。
2、检查 POLYCOLD是否正常。
其他的还没遇到过。

swanson · 发表于 2011-3-11 14:36:56

会不会是基底放气太大。。。烤一下基片呢

JZNT · 发表于 2011-3-11 17:01:25

有微漏的可能性比较大，包括漏气还有水

xiaojiang007 · 发表于 2011-3-11 21:24:42

其他的都没动过机器在抽高真空的我听到好像有嘶嘶的声音是不是漏气啊！望解答啊

wlinliu · 发表于 2011-3-12 09:33:06

高真空的时候真空度是否有反弹变化,如果反弹很大,就有漏了,用残余气体分析仪分析一下就知道了

JINFENG215107 · 发表于 2011-3-12 22:34:13

会不会是机械泵或者真空泵的问题。

缘睐汝痴 · 发表于 2011-3-13 23:34:21

这些都有可能存在问题，学习了

xcy1075 · 发表于 2011-3-16 10:28:30

snscm · 发表于 2011-3-16 13:45:34

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应该是低真空指示灯泡坏了，换一个。
那个嘶嘶的声音是哪个部位发出来的？顺便给设备检下漏

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