讨论：MEMS的可靠性

dwzgy

MEMS用作加速度计等已经广泛应用，在电子领域应用的道路似乎比较顺畅。然而，在光学领域，经常被质疑可靠性问题。现在MEMS的 VOA也广泛应用，MEMS的光开关经常被系统厂商和运营商质疑可靠性，就连现在广泛应用的基于MEMS 的WSS也常被质疑，而以上多基于1D 、2D MEMS。3D MEMS最典型的应用就是基于3D MEMS的大型光开关矩阵，从2000年到现在，搞3D MEMS的仅有几家勉强存活Calient Networks, Glimmerglass等。看似这么好的技术，之所以没有发展起来，就是因为可靠性的怀疑。

因此，在此号召各位把MEMS各种应用的可靠性数据贴出来，以释众疑，推动MEMS的应用。