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楼主: 鱼边的水

PET上镀铝的针孔问题

发表于 2009-6-22 23:09:26 | 显示全部楼层

应该是基底没有清洗干净，或离子源功率太大了

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楼主| 发表于 2009-6-24 23:47:34 | 显示全部楼层

离子源功率过大？
有可能是原因之一
我用的离子源是大电压小电流型的
但，我镀了1000nm
还是有针孔
不知为何

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发表于 2009-6-25 08:30:48 | 显示全部楼层

那就减少电压加大电流试试

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楼主| 发表于 2009-6-26 22:21:27 | 显示全部楼层

电荷积累？？？？？？？？？？？？？

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