PET上镀铝的针孔问题

鱼边的水 · 发表于 2009-6-14 23:48:16

我最近在PET上离子束辅助磁控溅射镀Al（200nm左右）
发现镀完的薄膜上面好多针孔，
对着荧光屏一看，好多亮点
不知是什么原因
望大侠们指教！！！

ghtzna · 发表于 2009-6-15 22:41:07

机台清洁度怎么样
还有速率？

鱼边的水 · 发表于 2009-6-15 23:14:27

基片台清洁度还行
我是间歇式镀膜，小靶，基片台旋转的，一分钟两圈，10nm/min
做了500nm，1000nm的
都出现了相同的问题

zzzz · 发表于 2009-6-16 08:53:41

把整个真空腔先仔细清洁下先

鱼边的水 · 发表于 2009-6-16 20:00:02

嗯，明天试试
多谢指教

陈岩 · 发表于 2009-6-16 21:03:05

是你打底的问题。设备清洁度不是关键

zzzz · 发表于 2009-6-17 09:19:19

也许设备清洁度不是关键,但这是前提

鱼边的水 · 发表于 2009-6-18 20:00:58

今天我把设备完全清理了一遍
再镀，200nm，500nm
还是都出现了针孔，但稍有好转
难道是我的PET基底本身有问题？
望大家畅所欲言
先谢过了！

tuzige · 发表于 2009-6-19 09:52:42

可能是基底本身的问题

zzzz · 发表于 2009-6-19 13:00:06

8# 鱼边的水

设备清洁好了,问题没解决
那就考虑PET是否清洁干净了

gxbm · 发表于 2009-6-19 15:54:18

基底清洁？镀膜材料？真空室清洁？你都查了？先动手在说话。

鱼边的水 · 发表于 2009-6-22 21:44:56

清洁没问题
我是在净化间做实验的，基片和镀膜机是做光学薄膜用的，整的很干净
请问各位大侠，
有没有在这方面取得进展或已经解决了的
可以一起合作
可以联系我
wjhsky6@126.com