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金属膜膜料折射率(N、K值)的测试

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发表于 2009-4-29 18:33:02 | 显示全部楼层 |阅读模式
哪位有好的方法???
发表于 2009-4-29 22:55:56 | 显示全部楼层
一般都用的理论值,楼主怎么会有这个问题?
 楼主| 发表于 2009-4-30 09:40:46 | 显示全部楼层
理论值我也有资料,但是不准确。
比如镀Ni,EB和sputter不同的方法镀同样的厚度,反射率都不同。
用NI颗粒和不同直径的丝镀,条件也不同。
同样用EB镀,速率不同反射率也不同,而且反射率在某个厚度似乎有跃变。
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