请教下电子束扫描点问题

jonying · 发表于 2009-4-22 12:18:59

各位下午好！请问假如Position设置最大值(X50,Y50)，那么这点打在坩锅哪个位置，刚好靠边还是哪里？另外X和Y Scan扫描是设置的什么扫描线图吗？请详细讲解下，不胜感激！

jonying · 发表于 2009-4-22 21:45:30

自己先顶下…希望哪位高手来讲解下。

longmin · 发表于 2009-4-28 22:23:48

Position设置位置x,y的一半,為坩锅中心,但可能因其他因素而偏移
X和Y Scan扫描,是控制電子束的大小

jonying · 发表于 2009-4-30 17:43:04

恩，现在明白了！THX，呵呵