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油扩散泵返油？

发表于 2009-4-11 14:33:45 | 显示全部楼层 |阅读模式

若一真空腔有5个油扩散泵，如果同时打开扩散泵的高抽阀，前级管道的压力会上升，如果压力上升太多是否会引起返油？

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发表于 2009-4-11 17:13:07 | 显示全部楼层

开高阀前要对真空室抽低真空,不抽的话油要氧化

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发表于 2009-4-12 10:16:28 | 显示全部楼层

前级真空要比腔体内的真空要高!!!!!!!!!!!

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