光电工程师社区»光电社区 › 光电理论及应用技术 › 光学镀膜技术及膜系设计 › 关于镀膜表面不好怎么解决?

123 / 3 页下一页

返回列表发新帖

楼主: holdout@163

关于镀膜表面不好怎么解决?

火 [复制链接]

楼主| 发表于 2009-3-3 08:38:03 | 显示全部楼层

我们不充氧的!

回复支持反对

使用道具举报

发表于 2009-3-3 10:08:22 | 显示全部楼层

用离子源吗？离子源清洗不干净也有可能

回复支持反对

使用道具举报

楼主| 发表于 2009-3-3 16:00:49 | 显示全部楼层

不用的,就是南光的700

回复支持反对

使用道具举报

发表于 2009-3-3 16:52:06 | 显示全部楼层

扩散泵口有冷阱吗，会不会是扩散泵返油所致

回复支持反对

使用道具举报

楼主| 发表于 2009-3-5 08:33:12 | 显示全部楼层

有冷井的,我拆百叶窗看过了,没反油的!

回复支持反对

使用道具举报

发表于 2009-3-5 20:17:47 | 显示全部楼层

把源换了吧，应该是这个问题了

回复支持反对

使用道具举报

楼主| 发表于 2009-3-6 08:26:05 | 显示全部楼层

好的,再看看吧

回复支持反对

使用道具举报

发表于 2009-3-7 15:28:48 | 显示全部楼层

楼上的你感觉南光机器好用吗？我用的是 500的，我们可以经常交流啊285525626

回复支持反对

使用道具举报

楼主| 发表于 2009-3-9 08:28:05 | 显示全部楼层

恩,好的,我也用过500不过不是镀膜用的,是熔料用的

回复支持反对

使用道具举报

发表于 2009-3-9 10:31:11 | 显示全部楼层

跳过 ====================================

回复支持反对

使用道具举报

发表于 2009-3-16 18:40:50 | 显示全部楼层

将氧气换一下，将材料再换一下！应该是没有问题的！

回复支持反对

使用道具举报

发表于 2009-4-1 23:09:38 | 显示全部楼层

你是真空溅射镀膜吗?检查一下靶材?看一看清洗系统?

回复支持反对

使用道具举报

123 / 3 页下一页

返回列表发新帖

关注公众号

手机版|搜索|光电工程师社区

相关侵权、举报、投诉及建议等，请发 E-mail：admin@discuz.vip

Powered by Discuz! X5.0 Licensed © 2001-2026 Discuz! Team.|鄂ICP备17021725号-1

在本版发帖

关注公众号

QQ客服返回顶部