AR膜大曲率边缘膜层附着力不良

Lxykoko · 发表于 2009-2-26 22:16:09

建议你换个膜系试一下,加我QQ183603818,前不久我刚遇见和你一样的问题,现在已经搞定了.

filmgy · 发表于 2009-2-27 17:22:27

可加我qq245924238,大家相互学习学习.附sinlewolf

zzzz · 发表于 2009-3-2 08:40:58

牛人真多
我还以为半球要镀匀了除改镀膜方式或设计专用夹具外,还能有这么多其他可能

hong · 发表于 2009-3-4 17:36:14

可加离子源试试哈
1、换行星旋转
2、提高真空度
3、提高温度

lkwxp · 发表于 2009-3-6 01:56:35

1 加离子源吧！提高一下膜层致密度，会好点！
2 如果你说的是宽带，冲氧真空度也挺重要。
3 可以试一下，先镀膜后磨边。
一点拙见，仅供参考。

ferry · 发表于 2009-3-24 17:20:29

也在镀近半球形的大曲率的东西，用行星架，倒是没发现附着力的问题，但明显耐磨擦性能最边上要差太多。不过，即使用行星架，由于曲率太大（半球），膜层的均匀性还是很差，转速，摆角改变都改进不大。

guangang · 发表于 2009-3-25 20:28:27

第一,研磨问题,镜片边缘最后抛光的时候基本抛不到,边缘的光洁度较差;
第二,清洗时边缘清洗不到位(凹面比较严重些);
第三,镀膜蒸发角度的问题,再前2个问题解决后,可以试验只放工件盘的中上部看看;

小技工 · 发表于 2009-6-25 15:10:45

主要原因是薄膜与基底入射角接近了“0”度，解决办法使用离子源、提高温度、膜系改善

zzzz · 发表于 2009-6-26 09:02:44

楼上的,入射角接近0度用离子源能改好吗
怀疑ING

jhxxmlhk · 发表于 2009-6-26 12:34:02

建议你换个膜系试一下,加我QQ183603818,前不久我刚遇见和你一样的问题,现在已经搞定了.
Lxykoko 发表于 2009-2-26 22:16

多镀几层，膜厚度增加？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？？

ghtzna · 发表于 2009-6-26 21:37:00

shutter 的问题，况且外围膜层最薄