用电子枪镀ITO 工艺参数要如何设置

wcq1818 · 发表于 2009-8-31 18:22:32

长期高价求购ITO废靶材,废粉,13400703921,翁先生.

江南行者 · 发表于 2009-9-1 08:29:25

学习了，长见识了，谢谢！

jinyu2100 · 发表于 2009-9-1 11:03:22

7# baron
对ITO薄膜透过率和电阻性能有影响的工艺条件主要有：氧气流量，加热温度，厚度。
其实只要做几个简单的实验，就可以看出每个参数对其性能影响的趋势。
给你一个具体的参数是没有意义的，因为每个具体的工艺环境都不一样。

zhaohn868 · 发表于 2009-9-1 12:16:19

镀膜温度30度，速率0.1nm/s，IAD O2 10sccm，Thickness=25nm。方阻大概700欧左右。

laoxianccc · 发表于 2013-4-27 13:16:09

新手求教 · 发表于 2013-4-28 11:12:55

超越 · 发表于 2013-5-3 15:26:49

学习

qjy · 发表于 2013-5-4 23:19:25

真有高手使用离子源镀制ITO吗？个人经验好像这个做法行不通

coaterxf · 发表于 2013-5-8 19:06:49

qjy 发表于 2013-5-4 23:19
真有高手使用离子源镀制ITO吗？个人经验好像这个做法行不通

这个可以有！
等离子体代替电子束加热的更好！