若扩散泵的油温若过低

fawang · 发表于 2008-12-20 23:56:09

扩散泵的油温若过低，此时却打开了阀门，会造成扩散泵这边的压力比前级管道压力大，油会到前级管道中去，是这样吗？为什么？能从原理上说明吗？会有什么危害吗？前级泵（旋片泵和罗茨泵）能抽走这些又吗？

fawang · 发表于 2008-12-22 15:04:43

哈哈，没人顶呀，各位大侠随便说说呀

jhxxmlhk · 发表于 2008-12-22 15:54:54

实际上应该不至于，经常在DP预热的时候就抽气了，没有返油。

shjygx · 发表于 2008-12-22 17:28:41

先开维持泵，一开始压力和油温无关。

yzhuang · 发表于 2008-12-22 21:19:31

个人认为,油温低一点开始阀门,影响应该不大,顶多开始时抽气抽不动,但如果初始真空度太低的话,返油的可能性更大一些

280345601 · 发表于 2008-12-22 23:05:16

没敢干过

mangovc · 发表于 2008-12-23 14:01:45

油温还未热就能开高阀吗？好像很多机器都有这个互锁，应该是开不了的

森林小树 · 发表于 2008-12-25 09:38:52

油温设定值是可以改的，温度低只是抽气速度会很慢的，反油应该不会

samurai_sc · 发表于 2008-12-27 01:14:10

油温低应该是会影响抽速反油现象应该不至于
由于扩散泵油是混合型的每种油的蒸馏点不一样油温低会导致蒸馏点低的油不能蒸发成油蒸汽，导致了抽速慢。
泵油回流大部分也是靠冷却油蒸汽，使之从气态转变成液态回流，所以低温应该不会导致反油现象
具体有什么损害不小得，没试验过。

shjygx · 发表于 2008-12-27 11:10:51

反油，看看家里脱排上的油，一个道理

GR800322 · 发表于 2008-12-27 12:47:12

温度低抽不懂不会返油（至少不明显）

mengmingpeng · 发表于 2008-12-27 21:11:15

油温设定值是可以改的，温度低只是抽气速度会很慢的，反油应该不会