请教个PD测量的问题

merit

手头有一个Si PIN，想测量它的响应速度/带宽。



说明书上标注的是：上升时间10ns，测量条件是10V反偏电压。



可以直接连示波器测量，如下图。但是我的测量结果是带宽很有限，输入10KHz的方波（光信号）到PD上，示波器上就变成三角波了。而且有没反偏结果无变化。



问题可能在于示波器的输入阻抗不是50欧姆（见图中示波器）。后来问过示波器代理商，说我用的那款是1M欧姆，而且无法更改（高端示波器可以设为50欧姆输入阻抗）。



随后给探测器并联50欧姆的电阻。测量不到结果，认为是此电阻分了绝大部分电流，无电流流经示波器。改成测量电压模式，仍无改观。



请大家给点建议，谢谢。



PS. 我认为图中虚线框是探测器的等效电路，未额外加电阻电容。