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急求:镀膜二氧化硅和氧化钛的多层膜,用的是光弛机器1300,出现点子问题

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发表于 2008-11-24 15:56:41 | 显示全部楼层 |阅读模式
用的这种机器出现白点的问题很严重,有那位高手能帮忙解决一下,???
发表于 2008-11-25 05:55:29 | 显示全部楼层
膜料引起的,主要是SIO2,把电子枪的光斑调好一点
发表于 2008-11-25 12:46:05 | 显示全部楼层
怎样的光斑才算好尼??????????????????????????????????????????????????????????????
发表于 2008-11-25 13:10:59 | 显示全部楼层
用光池机器也能出现点子,水平也太高了吧,首先要看点子是黑色还是白色,黑色是TIO2,白色是SIO2,或者擦拭液体有点状的残留,有时候洗净也有这样的现象,关键是要找出真正的原因.caicm_001@163.com .我可以解决
发表于 2008-11-26 08:48:10 | 显示全部楼层
SIO2的光斑可以大一点点,但扫描要慢些,或者不开扫描
发表于 2008-11-26 09:08:22 | 显示全部楼层
没用过光驰机,不过光洁度不是那么容易处理。进口设备的好处就是出现差机器的几率低。国内挺多光驰机器做不出好东西来。
发表于 2008-11-26 09:08:58 | 显示全部楼层
最好把图片贴出来,分析产生原因
发表于 2008-11-26 14:44:06 | 显示全部楼层
原帖由 wazxq 于 2008-11-26 09:08 发表
没用过光驰机,不过光洁度不是那么容易处理。进口设备的好处就是出现差机器的几率低。国内挺多光驰机器做不出好东西来。

我有用过一天光弛,觉得是很不错的机器,做不出好东西可能原因不是机器吧?膜料质量和工艺很重要。
黑白点是蒸发工艺调整问题。但没有现场观察还不容易搞清楚。
发表于 2008-12-2 19:17:15 | 显示全部楼层
1.飞溅问题,请确认在镀TiO2时一般会有飞溅,可能是药品太脏,或者电子枪电流太大,在镀膜时调整EB电流大小。
2.针孔问题,注意炉内清洁。
如有问题可以联系QQ805181662
发表于 2008-12-11 14:46:04 | 显示全部楼层
9#的分析很用道理,学习了。
发表于 2008-12-11 15:07:35 | 显示全部楼层
请教各位,现有一套光学系统,用于室外,会受潮、盐雾、日照等各种环境影响,波长在800-900nm,透过率要求在R<1%左右,不知是否可以镀TiO2和SiO2抵抗上述环境呢?如需要,要大致多少层呢?,请各位专家指点和建议,谢谢,在线等
发表于 2008-12-12 15:42:26 | 显示全部楼层
离子源!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!
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