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白浊问题讨论

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发表于 2008-11-20 22:13:34 | 显示全部楼层 |阅读模式
大家热烈讨论下下,

  基板白浊对镀膜有什么样的影响??/

快发言啊!!    奖励积分!!!

白浊.xls

41 KB, 下载次数: 15, 下载积分: 光电贝 -10 元

发表于 2008-11-21 12:54:23 | 显示全部楼层
影响大大地
不过都是坏影响没有好影响
发表于 2008-12-2 20:06:58 | 显示全部楼层
与氧气流量有关,氧气过多会引起这样地现象,APC、MFC控制可以交换一下,还有就是抽真空不好,机器扫除一下或把RP保养一下。我处理过这样的问题。
发表于 2008-12-2 20:08:36 | 显示全部楼层
白浊对反射有很大的影响
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