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晶片镀金光刻后膜脱落是什么原因？

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发表于 2008-11-15 14:12:37 | 显示全部楼层 |阅读模式
晶片镀金光刻后膜脱落是什么原因？希望大家指教，谢谢
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zzzz
发表于 2008-11-17 10:11:46 | 显示全部楼层
要么是你金的牢固度不好,要么就是你的光刻技术不好了
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HZI84
发表于 2008-11-17 12:05:53 | 显示全部楼层

金属膜

你们是几英寸的片子，是蒸发台还是磁控溅射？
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HZI84
发表于 2008-11-17 12:06:28 | 显示全部楼层
zhaoguanghua3425@163.com
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