楼主: victorrose

PMMA上镀SiO2与TiO2,工艺条件为何?

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发表于 2008-9-22 23:37:27 | 显示全部楼层
PMMA上镀这玩意,不用IAD也是可行的
问题是你镀了多少层上?你怎么知道就没有镀上去?说的不具体.
发表于 2008-9-23 16:26:47 | 显示全部楼层
原帖由 宇宙深处 于 2008-9-20 08:57 发表
在压克力板上镀SIO2、TI3O5应该是没有问题的。镀前烘烤与清洁也是没有问题的。真空1.5*10-3也是足够的。膜无法附着、或附着力不强。
可能是:
1、真空计被污染,呈现出假真空。
2、PMMA防滑剂太厚。
3、蒸发SIO2 ...

蒸发SIO2会放O2吗?如果蒸镀时会放O2,那成膜的就不是SIO2,是吗?有些不理解,请指教!
发表于 2008-9-23 21:05:04 | 显示全部楼层
不是SIO2放O2,而是SIO2缺O2吸收.
 楼主| 发表于 2008-9-26 00:18:08 | 显示全部楼层

回复 13# huang12949 的帖子

关于各层的镀膜厚度可有光亮监控设备来监控
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