块状二氧化硅蒸发速率！！

skyperfect · 发表于 2008-7-28 14:18:02

电子枪蒸发块状二氧化硅时速率很难控制，束流小了打不起来，大了的话速率又会很高，达到了20-30A/s，而且走出来的速率曲线是一些大波浪形，不知应该怎样控制？还有它的速率是多少为宜！！

镀膜加游戏 · 发表于 2008-7-28 15:59:53

清洁一下电子枪。

更换一个好的晶片。

设定好sio2增发速率。

sio2 power 最大值设定力求合理！

故障描述不够详细，只能理解如此！

[ 本帖最后由镀膜加游戏于 2008-7-28 16:01 编辑 ]

skyperfect · 发表于 2008-7-28 16:08:04

那我想确认的是块状二氧化硅的速率要多少呢？颗粒的为8-12A/s，块状要多少A/s？

tfc · 发表于 2008-7-29 10:12:20

调整好扫描方式和频率很重要。

ic5 · 发表于 2008-8-2 13:06:41

我建议把块状粉碎成颗粒用！

nation · 发表于 2008-8-3 17:10:55

可能也有其它的问题在里面，
现场的事是比较繁琐的事。