询问：有谁做过磁控溅射方式来镀光学薄膜方面的研究吗？

ferry

不知道，用磁控溅射镀膜，比如ＩＲ－ＣＵＴ．膜层厚度如何监控啊．也用的同蒸发镀膜一样的．

acdc_1

huweiqian
我要一份，谢谢！
yanlijie_1@126.com

wonder288

liujie288@yahoo.com.cn
我想做脉冲磁控溅射电源，用来改装我们的机器。

swift

能发给我一份么?大虾!
先谢过了!
love_76@sina.com

xbimr

看来磁控溅射也是趋势之一，leybold几年前开发了helios系列，shicron开发了ras系列，optorun也发布了HSP系列
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http://www.optorun.co.jp/chinese/news/080122.htm

2008年01月22日

高性能，高品质光学膜制造用溅射镀膜装置HSP-1650开发完成

  经过不懈的努力，我公司成功地开发出包含渐变折射率滤光膜在内的高性能，高品质光学薄膜用溅射镀膜机。
  
开发历程：
  长期以来，我公司一直专注于真空镀膜机及相关部件的设计和制造。为了更好地满足客户的需求，我公司发挥装备制造和工艺开发上的优势，对更高层次的设计理念进行了实践。
  在溅射方式上，我们采用了Meta-mode溅射镀膜方式，加上Load-lock室，基板搬运机构，回转的圆筒形靶材，以实现高性能的设计理念。
采用圆筒型靶，同时进行了各种靶材的开发。现在，针对光学薄膜所需要的各种材料，能提供块形靶和喷涂形靶。
特点：
  本装置不仅能用于生产普通的光学薄膜（通常所说的高低折射率材料交叠而成的多层膜），而且还能使用两种靶材按照设定的比率进行同时溅射，稳定地制作出任意中间折射率的膜层，也就是通常所说的渐变折射率膜系（在厚度方向上，折射率连续变化的膜系）。使得该装置成为一种具有更多用途的光学膜用高性能溅射镀膜机。
其主要特点如下：
＊最多可使用3种靶材，适用于多种膜系的生产。
＊采用圆筒回转式溅射靶，异常放电少，抑制了膜层缺陷的产生，更有利于成产高品质的多层膜。
＊设备外部调节式可变补正板设计，满足了高品质，稳定量产的需要。
＊采用Meta-mode溅射方式，可镀金属，中间反应物质，完全反应物质。
＊采用独特的装载室和基板运送方式，无论是科学研究还是批量生产，均可高效运转
＊适用于生产各种光学多层膜，中间折射率多层膜，渐变折射率多层膜，金属膜
目标客户：
开发新型光学膜的厂家及研究单位
大规模生产的光学膜生产厂家准备进入新型光学膜市场的顾客
用途（渐变折射率滤光片）等资料：
（以RGB分色滤光片为例）
  通常的多层膜滤光片，即使只做一个波长的负滤光片也是困难的。使用渐变折射率，可以同时制作3个激光波长且任意反射率的滤光片，并且透过带的纹波非常小。用通常的多层膜方式几乎不可能做得到。

（阶梯滤光片的例子）
  下面是阶梯状滤光片的例子。像这种任意光谱的滤光片也能制作。

（泰姬陵滤光片的例子）
  1978年，Dobrowolski教授开始用建筑物的外形作为目标光谱来设计滤光片。泰姬陵滤光片在历史上非常有名，因为其光谱十分复杂，所以成为膜系设计的典型例子。但是一直以来，无法按照该设计制作出实际的产品。
  采用我公司的HSP-1650溅射镀膜机，很轻易的地实现了泰姬陵滤光片的镀制。

  以上的成膜实例表明，该溅射镀膜机不仅能制作极复杂光谱的滤光片，而且透过带纹波几乎为零，借此为开创新的光学薄膜领域提供了可能。

[ 本帖最后由 xbimr 于 2008-8-6 14:19 编辑 ]

lsx2121

不做的话题，支持一下， 对于AML 的设备磁控溅射方法做光学膜 是否有了解的，谢谢？