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求教:离子束溅射镀膜的粒子能量范围

发表于 2008-4-8 15:25:30 | 显示全部楼层 |阅读模式

各位大侠好!!!!!
谁可以告诉我,离子束溅射镀膜中,粒子(沉积药材)的能量范围大致是多少?我想,粒子能量是影响膜层牢固度及其它性能的关键,当然,温度,真空度,药材匹配也很关键!!!
大家谈谈吧!

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楼主| 发表于 2008-4-9 15:19:20 | 显示全部楼层

学东西难,分享更难,进步是难上加难!拉兄弟一把吧!

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