流量仪跳动厉害,不知什么原因,请指教

Allay2006 · 发表于 2008-4-2 10:27:02

刚开始学镀膜.气体流量仪已事先加热了将近半小时,可示数还是不停地跳动,不知原因在什么地方,是有漏气的地方么?还请大家指教

777秋枫 · 发表于 2008-4-2 14:56:04

看看真空度有没跟着跳动。。。。。。。。。。。。。。。

shaodong1311 · 发表于 2008-4-3 10:16:30

有可能是坏了，有多余的流量计吗，换一个看看。

jinfeng · 发表于 2008-4-3 16:59:17

有可能是气体的减压表有问题，动一动减压调节，或者有多余的表换一个试试

Lxykoko · 发表于 2008-4-15 23:05:11

检查下电磁阀看看.......................................................

lsnanjing · 发表于 2008-8-21 17:20:45

再看看有没有射频干扰

jingxiaobao · 发表于 2008-8-28 22:50:57

上面说的都有道理,你可以逐个实验一下.

电磁阀也可能出问题的