请教一下，为什么镀红外截止膜的基板上有红色点状的东西

dalaoxu · 发表于 2007-12-19 20:30:49

不打火,不用显微镜看雾蒙蒙的,
用显微镜看就是满面的小点,感觉不是气泡装.

xiaozhou · 发表于 2007-12-19 21:16:24

是否基底外观不好,,,,,,,
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dalaoxu · 发表于 2007-12-20 20:26:14

我们的原板洗净还不错挺干净的..反正做了许多实验都找不到这点子的原因.
我认为是药物的事可是怎么做实验都不行...
求助!!!

经济学的故事 · 发表于 2007-12-20 23:31:44

1。镀后料有无坑挖不平？SIO2底料整新、SIO2加平整，预熔转速确认
2。SIO2蒸发速率振幅起伏不定否？检讨速率功率设定，频率更稳定的水晶片
2。换更高纯度的 SIO2试试看

dalaoxu · 发表于 2007-12-21 09:58:18

不用显微镜看象雾似的雾蒙蒙的

shaodong1311 · 发表于 2007-12-21 10:27:16

应该是潮斑吧,若用离子源做不会有这样的现象的啊.

dalaoxu · 发表于 2007-12-22 18:46:48

楼上的这位兄弟能详细的介绍一下潮斑么xuyi0829@sina.com 这是我的油箱 57554492我的QQ

dalaoxu · 发表于 2007-12-22 22:46:29

问题还没解决,顶起来,请各位多多给建议.谢谢

lonely · 发表于 2007-12-28 19:01:35

你尝试调高SIO2的速率，我就是这样解决的，我镀的产品和你是一样的

木子李 · 发表于 2008-2-26 18:55:43

dwzgy · 发表于 2008-2-26 19:06:41

建议换好一点的块状SiO2

再次就是加强镀膜机清扫了

z1206l · 发表于 2010-6-29 19:14:10

补充一句，这个红点还算挺均匀的　怎么能搞定他们啊
dalaoxu 发表于 2007-12-15 19:08

红点还算挺均匀的。？

镀成这样子，还真得有点功夫啊。

关于SIO2料请确认