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发表于 2007-12-1 11:38:14
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氧化镧(La2O3)分子量325.81,密度5.84,熔点2250℃,在10-4Torr真空下的蒸发温度为1400℃.可用钨舟、钽舟加热蒸发,用电子束加热蒸发效果较好。La2O3薄膜的透明区是0.35~2um,其折射率n=1.98(λ=0.33um),n=1.9(λ=0.55um)。其折射率具有非均匀性,随膜厚的增加而增加,膜厚为λ/4(λ=400nm)时,其折射率为1.85;膜厚为λ/4(λ=800nm)时,其折射率为1.8;膜厚为3λ/4(λ=800nm)时,其折射率为1.88;膜厚为3λ/4(λ=400nm)时,其折射率为2.0。氧化镧薄膜机械性能相当牢固,无吸湿性,但经过一些时间后易引起变化,有些不稳定。因为La2O3膜料具有吸湿性,生意在装入蒸发舟前必须在空气中加温至1000~1100℃烘烤。没经烘烤的膜料,不但蒸发时会产生喷溅,而且会使所制备的La2O3薄膜的性质受到影响。 |
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