大讨论－光圈，亚斯，PV,rms各自的含义，区别和联系

sunnyhk

受教了！！！
以前学过的，都忘完了。。。

三面互检

我也来发表一下拙见吧

一般评价表面面形主要有三种，光圈 局部光圈；干涉仪计算得到的 pv rms； 还有就是ISO10110-5里面的一些指标

光圈我理解为参考和被测之间的半径差，样板法时 不管是平面样板还是球面样板，如果成圈了，那么个圈（一个条纹间隔）代表0.5个波长面形，如果干涉仪测时，如果成圈，那么分两种情况，测平面时可以从单幅干涉图得到光圈，但测球面时，是无法测到光圈的，就是说，干涉仪测球面时是测不出光圈的，要想得到球面的半径差，需要配以测长装置。因为干涉仪的标准球面镜只提供标准球面波，而这个球面波是任意半径的，而样板法标准球面，提供一个半径固定的标准球面，呵呵，说得有点乱。
上面说的是N
第二就是像散差了，他表示光学表面和参考表面之间两个互相垂直方向上光圈数不等所对应的偏差，两个方向的N相减，还要看光圈的符号，比如，椭圆形像散时，两个方向N符号是相同的，马鞍形像散时，两个方向N符号是相反的

  局部光圈 就是局部不规则度 所对应的局部偏差。主要看局部条纹偏移量和理想条纹间隔之间的比值。

干涉仪一般测量后得到的是PV值和rms值，pv值对应的是波面 峰值和谷值之间的差，或者认为和塌边和翘边指和，而局部光圈呢，是塌边和翘边之间的最大值。单单用pv值来评价有时候很不客观。rms是一种统计量，主要是看波面的变化缓慢，rms值反映波面可能更客观。


ISO 10110-5里面把干涉仪得到的波面分成 sag 和 IRR（不规则度），IRR有分为旋转对称和非旋转对称。其中对于平面来讲，sag对应于半径差，和光圈有点像，也对应于power值（只是接近），IRR 就是扣除sag后的波面，和局部光圈有点像。上面说了干涉仪测不出球面光学元件的光圈，所以干涉仪测球面只能得到IRR，要想得到sag可以通过配以测长装置，或者用球径仪测，然后输入参考半径和比较半径，就可以算出。


以上是我的一些理解，欢迎大家指正

fishnapper

楼上说的好棒啊！
小弟刚入行，想请问一下各位高手，这个PWR，即power值表征的是什么含意呢，这个值在奥林巴斯和富士能的干涉仪解析软件中都能看到。

annespring

光圈，亚斯，PV,rms，这几个词在光学加工中经常遇到，但不同的人有不同的理解，甚至同一个公司的人都难以达成一致的理解．这里摘录网络上光电相关论坛，社区里面的专业人士的说法，供大家参考。

“三面互检 ”发表意见如下：
一般评价表面面形主要有三种，光圈 局部光圈；干涉仪计算得到的 pv rms； 还有就是ISO10110-5里面的一些指标

光圈我理解为参考和被测之间的半径差，样板法时 不管是平面样板还是球面样板，如果成圈了，那么个圈（一个条纹间隔）代表0.5个波长面形，如果干涉仪测时，如果成圈，那么分两种情况，测平面时可以从单幅干涉图得到光圈，但测球面时，是无法测到光圈的，就是说，干涉仪测球面时是测不出光圈的，要想得到球面的半径差，需要配以测长装置。因为干涉仪的标准球面镜只提供标准球面波，而这个球面波是任意半径的，而样板法标准球面，提供一个半径固定的标准球面，呵呵，说得有点乱。
上面说的是N
第二就是像散差了，他表示光学表面和参考表面之间两个互相垂直方向上光圈数不等所对应的偏差，两个方向的N相减，还要看光圈的符号，比如，椭圆形像散时，两个方向N符号是相同的，马鞍形像散时，两个方向N符号是相反的

  局部光圈 就是局部不规则度 所对应的局部偏差。主要看局部条纹偏移量和理想条纹间隔之间的比值。

干涉仪一般测量后得到的是PV值和rms值，pv值对应的是波面 峰值和谷值之间的差，或者认为和塌边和翘边指和，而局部光圈呢，是塌边和翘边之间的最大值。单单用pv值来评价有时候很不客观。rms是一种统计量，主要是看波面的变化缓慢，rms值反映波面可能更客观。


ISO 10110-5里面把干涉仪得到的波面分成 sag 和 IRR（不规则度），IRR有分为旋转对称和非旋转对称。其中对于平面来讲，sag对应于半径差，和光圈有点像，也对应于power值（只是接近），IRR 就是扣除sag后的波面，和局部光圈有点像。上面说了干涉仪测不出球面光学元件的光圈，所以干涉仪测球面只能得到IRR，要想得到sag可以通过配以测长装置，或者用球径仪测，然后输入参考半径和比较半径，就可以算出。

“catianshi ”发表意见如下：
PV镜片表面上凸凹不平的最高点和最低点的差值，而irregularity是局部光圈吧，我们考量某镜片的局部光圈数是同一条干涉条纹不规则部分偏离规则部分的比值，但它不一定是最高点和最低点的差值，肯定小于等于！


光圈不满一个时,大概可分为两种,一种是光圈变成直线了,我们习惯称其为零个光圈.
另一种是成弧线的,我们习惯称其为半个光圈.
亚斯是日系企业的一个称呼，国营或大部分国内企业称为局部误差。亚斯的判定主要是比较法,在标准的干涉条纹中,条纹距离是一定的,那么2个条纹之间的距离可以看成是一个光圈.那么不规则的条纹之间,即出现亚斯时,要看这条线偏出了标准间距的多倍,是0.2倍、0.3倍或是更多。不过这种方法是用肉眼观察的，误差不小。

“砖头”发表意见如下：
光圈：镜片和样板放在一起的时候会形成干涉条纹，成圆环形。圆环的个数既是光圈数。
亚斯：不知道你说的是不是这个东西——アス。要是的话，那它表示的应该是象散偏差，就是本应该是圆环形的条纹发生变形。
       要是不是，那就得问高手了。
PV镜片表面上最高点和最低点的差值。RMS镜片表面上那些坑坑包包差值的平均值。

sunrise85

看来看去，还是“三面互检”说的最准确。我看可一下ISO 10110-5，里面确是这么说的。谢谢了

meteora

光圈又称牛顿环，指由于被测面与样板面型不一致存在空气隙而产生的干涉条纹，一般来说，光圈是可全面反映被测面的整体误差和局部误差。光圈数反映被测面的整体误差，表征被测面与样板之间的矢高差，也就是半径差，一个光圈表征矢高差二分之波长；若光圈数小于1 ，则可用弯曲光带的矢高除以相邻光带的距离得到光圈数，也可以通过观察此时光圈中心的颜色来判断光圈数。局部误差包括像散误差和局部不规则，局部不规则指任一母线某一处与整体的曲率半径不同而产生的误差（该误差是回转对称的，典型的有中心低塌边、中心高翘边），像散误差指x和y方向光圈数不一致所产生的误差。两种误差均有标准的计算方法。
    PV（波峰波谷差）和rms（均方根）是在非球面检测中经常用到，不论是PV还是rms在衡量面型质量方面均有非常大的局限，远不如光圈来的全面：比如假设测量位置上有一个很小的突起或者洼陷，而其他部分非常理想，也会导致非常大的Pv值，尽管这个缺陷可能对面性质量影响很小，rms的好处是可以滤掉类似的突变，但他最大的缺点是不能表现出PV值可以表现出的最大误差。PV和rms的好处是可以量化，常常用在无法用光圈来衡量面型质量的地方（例如非球面检测），也能作为光圈的有效补充。目前非球面数控加工中，PV值可以做到<0.3um，rms一般是PV值的1/5-1/10，利用这个比例可以通过任一值估计出另外一个值的范围。

ds1234567

zygo测量准确，外商认可。砖头说PV值是镜片表面上最高点和最低点的差值。RMS镜片表面上那些坑坑包包差值的平均值这是对的，是整个测量面上的最高点和最低点，对应光圈值，不是局部光圈不规则。在分析选项时，选去球面，去柱面，去倾斜得到的PV就是局部光圈不规则。表面上若有疵病或脏点可以屏蔽掉，不影响PV测量。RMS（中误差）在1/6左右反映面型精度是正态分布，离散小。

panwei4126

通常来讲我们说的亚斯就是干涉仪测的pv，基本是一个概念。干涉仪测的最好是整个面的面型偏差，那么就和我们用样板所看的光圈变形基本是一致的，当然，用干涉仪测得的数字更为准确，毕竟用样板看的只是我们自己的估算，而且用干涉仪判断有个好处，就是变形比较大的镜片表面，由于在光学应用上我们并不用镜片的整个面，这样一来我们可以用干涉仪只看我们需要的那部分变形是否在我们的要求之内就好了。因为一个镜片在切边之前有个加工有效径，加工后还有镀膜有效径，还有光学有效径等等，我们对一个镜片的好坏选择主要取决于光学有效径内的面型偏差是否符合我们的规格，一个看光圈的老手在知道镜片的光学有效径后是可以借助样板来判断这个镜片的优劣的，遇到边缘状况时就要参照干涉仪了。
至于光圈，用样板观测比较好吧，我还没有接触用干涉仪看光圈数的，暂时还没学到呵呵。
规则的完全平行的直线的光圈是0本的，说明样板与被测镜片是一致的，规则的平行但是有弯曲的要视弯曲程度，可能是0.2，也可能是0.3，超过1本的就通过查圆弧了，假设建立一个坐标x,y轴，其中一个轴必须通过光圈最多最密集的一方，然后从左到右查过来除以2，就是本数了，这个在网上是可以找到的

fjnuywq

说了这么多，给你们发个文章就全懂了
怎么上传不了，下次传了

liuquan

PWR，即power值表征的,一般是指离焦.

ds1234567

除了干涉仪比样板客观，准确外。干涉仪可以实现样板无法进行的测量，1 测量带高反膜表面的光圈；2 平面10道圈左右时要求测不规则0.1；3 测量材质光学均匀性；4 测量光学系统干涉图形时。用MTF（传函），星点图，泽尼克多项表示。

maomimi

如何测量带高反膜表面的光圈