蓝宝石衬底的化学机械抛光技术的研究 PDF

T10 · 发表于 2007-9-26 21:26:16

王银珍,周圣明,徐　军
(中国科学院上海光学精密机械研究所,上海201800)
摘要:介绍了蓝宝石衬底的化学机械抛光工艺,概述了化学机械抛光原理和设备,讨论分析了影响蓝宝石衬底化学
机械抛光的因素,阐述了CMP 的主要发展趋势:能定量确定最佳CMP 工艺,系统地研究CMP 工艺过程参数,建立完
善的CMP 理论模型,满足不同的工艺要求和应用领域,有效降低成本,提高产量。
关键词:蓝宝石;衬底;化学机械抛光
中图分类号:O786 　　　　文献标识码:A 　　　文章编号:10002985X(2004) 0320441207

来源于<人工晶体学报>2004年第6期

kaka · 发表于 2007-9-27 09:26:27

上光的文章,应该写的不错

蛛蛛111 · 发表于 2007-9-27 21:47:26

看看再说，希望能有个比较全面的介绍

cscaosheng · 发表于 2007-9-30 08:57:02

都是分析,没有能参考的数据.
不过谢楼主分享了!

CD_LYS · 发表于 2007-11-16 15:48:02

我像毛主席保证，这个贴也是无肉的，最多有点毛皮，但还是要谢谢楼主。

蛛蛛111 · 发表于 2007-11-16 19:28:42

我向马克思保证，这个贴连点点皮毛都不会有的

oksot · 发表于 2008-5-24 11:24:53

好东西，学习学习下

npteccn · 发表于 2008-7-1 22:06:25

这篇文章我看过，无血无肉，最多有几根毛。

CD_LYS · 发表于 2008-7-8 17:32:17

6楼的朋友，我遇得到你哦

juhongbing · 发表于 2008-12-22 10:17:10

下来学一学，谢谢楼主了1

ntschina · 发表于 2008-12-25 16:07:25

呵呵，化学抛光是需要的，MONOCRYSTAL 使用的就是 2道双端面研磨，1道粗研磨，2道CMP研磨，

使用的就是我们公司的设备。哈哈

Daniel-Yuee · 发表于 2008-12-25 20:40:05

MONO在加工衬底的过程中可能还有一道工艺吧？

梦游中，胡言乱语！

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