问个浅显的问题,真空室越大(高),相对而言是不是膜厚均匀性越好啊?

liwenjuanlwj · 发表于 2008-7-5 08:35:04

原帖由 qx__wei 于 2008-6-5 17:43 发表
我用2050的机器，均匀性很难调，真空室越大均匀性越不好控制，mask的形状在这里是尤为关键，很难做到很好。另外机器越大转架越大，转架基本都是分体的，每次喷砂后重新安装时，对称，和变形的消除都是很难的，曲线也 ...

分体的，我们这边也是，以前装个要一个多小时，现在慢慢有个门道了，十几分钟搞定。主要喷砂变形是弧度回减小吧，装之前调大点弧度，就好了
关注你调这机器很久了，现在怎么样了？加油！

nation · 发表于 2008-7-5 15:56:15

原帖由 tfc 于 4-7-2008 10:18 发表

你发现国内哪个设备厂家解决了均匀性问题?好象母猪不会上树吧?

国内设备厂家和国外设备厂家都在想办法解决这个问题。
我说的是少数的厂家，
其实现在的设备我们在工艺上稍稍调整不是也可以用吗。

tfc · 发表于 2008-7-7 17:45:53

原帖由 nation 于 2008-7-5 15:56 发表

国内设备厂家和国外设备厂家都在想办法解决这个问题。
我说的是少数的厂家，
其实现在的设备我们在工艺上稍稍调整不是也可以用吗。

那当然，我们的镀膜工程师就是帮设备厂家改设备＼改工艺的．不然我们怎么混？
你搞业务的吧？