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求助,为什么Ar流量开大,浓度反而降低了?

发表于 2007-8-11 10:04:34 | 显示全部楼层 |阅读模式

我使用RGA分析,
Ar 流量 80sccm 测量的气体浓度 1.6*10-1帕
Ar 流量 150sccm 测量的气体浓度 9.0*10-1帕
为什么出现这种相反的情况呢?

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